EV Group

Logo der EV Group

EV Group (EVG - ursprünglich "Electronic Visions Group") ist ein Hersteller von Prozessanlagen für die Halbleiterindustrie, Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie. Zu den Produkten gehören manuelle und vollautomatisierte Fotolithographieanlagen, Wafer-Bonder und Inspektionssysteme, die sowohl für Forschung und Entwicklung als auch für die industrielle Massenproduktion eingesetzt werden können. Die Produkt- und Prozessentwicklung sowie die gesamte Fertigung sind am Firmenhauptsitz des Unternehmens in St. Florian am Inn (Österreich) zentralisiert.[1][2] EVG besitzt Niederlassungen in den USA, Japan, Korea und Taiwan. Insgesamt beschäftigt das Unternehmen etwa 600 Mitarbeiter.

Inhaltsverzeichnis

Geschichte

Das Unternehmen wurde 1980 von Erich Thallner, heute Präsident des Unternehmens, und Aya Maria Thallner unter dem Namen Electronic Visions Co. als Engineering-Partner für die Halbleiterindustrie gegründet. Nachfolgend wurde die Konzernzentrale in mehreren Schritten erweitert. Parallel zum Ausbau der Konzernzentrale erfolgte die weltweite Markterschließung durch die Gründung von Tochtergesellschaften in den Triade-Märkten Europa, USA und Asien. 2011 kam es zu einer Erweiterung der Fertigungskapazitäten, indem die Produktionsfläche durch einen Erweiterungsbau mehr als verdoppelt wurde.[3] Weiters wurden die Reinräume und Anwendungslabors auf die vierfache Größe erweitert. [4] EVG gewann 2012 den Wirtschaftspreis Pegasus der OÖNachrichten in Gold in der Kategorie der Leitbetriebe. [5] Im selben Jahr wurde EVG außerdem mit dem Preis für Regionalität der BezirksRundschau ausgezeichnet. [6]

Zur Technologie- und Produktentwicklung von EVG gehört der 1985 entwickelte, weltweit erste Doppelseiten-Mask-Aligner mit Unterseitenmikroskopen, der einen Beitrag zur Kommerzialisierung von MEMS-Produkten (MEMS = Mikro-Elektro-Mechanische Systeme) lieferte. 1990 entstand eine Prozesstrennung in Wafer-Justierung - also die Ausrichtung der Wafer - und -Bonden, mit der mehrere Siliziumscheiben (Wafer) und die darauf aufgebauten elektronischen Schaltungen zu einer funktionalen Einheit verbunden werden. Die Einführung des ersten automatischen Wafer-Bonding-Systems für die Großserienfertigung von MEMS im Jahre 1992 legte den Grundstein für die Tätigkeit im Markt für Wafer-Bonder.

Im Jahr 1994 installierte EVG den ersten SOI-Produktions-Bonder (SOI = Silicon on Insulator) für die Massenfertigung mehrschichtiger Silizium-Isolator-Silizium-Wafer als Basis für High-End-Mikroprozessoren und erhielt dafür 2004 den österreichischen Staatspreis für Innovation.[7] Das 1999 entwickelte, patentierte SmartView-System zur Wafer-Justierung ist richtungsweisend für 3D-Anwendungen.

Im Jahr 2001 entwickelte EVG die ersten Systeme zum temporären Bonden und Debonden als Schlüsseltechnologie für die 3D-Integration von Wafern mit Through-Silicon-Via-Technik. Das weltweit erste vollautomatische Wafer-Bonding-System für 300-mm-Wafer, das den Weg für die Kommerzialisierung der 3D-Integration ebnete, wurde 2007 vorgestellt.

EVG's 2009 vorgestellte UV-NIL (Nanopräge-Lithographie) Systeme der neuesten Generation und das erste vollautomatische Fusions-Bonding-System mit optischer Wafer-Justierung erlaubten der Industrie neue Wege bei der Herstellung von Wafer-Level-Kameras zu gehen.

2010 brachte EV Group das erste vollautomatische Wafer-Bonding-System für die Produktion von HB-LEDs auf den Markt, welches von der österreichischen Zeitschrift "Factory" zur Innovation des Jahres 2010 gekürt wird.[8]

Mitgliedschaften in Industrie-Organisationen und Technologie-Konsortien

Weblinks

Einzelnachweise

  1. EV Group auf starkem Wachstumskurs, EVG Pressemitteilung, abgerufen am 22. Dezember 2011
  2. Haas: Gestatten, Weltmeister... In: OÖN Journal November 2010, S. 10-15
  3. Wafer-Stars verdoppeln Produktion In: nachrichten.at, abgerufen am 22. Dezember 2011
  4. Im Wachstum: Die EV Group baut aus In: nachrichten.at, abgerufen am 5. November 2012
  5. iPhone funktioniert mit Technologie von EVG In: www.nachrichten.at, abgerufen am 3. September 2012
  6. EV Group gewinnt Regionalitätspreis der BezirksRundschau In: BezirksRundschau.at, abgerufen am 5. November 2012
  7. EV Group E. Thallner gewinnt Innovations-Staatspreis, pressetext austria, abgerufen am 22. Dezember 2011
  8. Leuchtendes Beispiel - Innovation des Jahres 2010 In: Factory.at, abgerufen am 22. Dezember 2011