Page - 59 - in Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden

3.2 OLED-Herstellung Indiumoxid und Zinnoxid zusammensetzt. Es eignet sich als Anodenmate- rial, da ITO im sichtbaren Spektralbereich weitgehend transparent ist, eine relativ hohe Leitfähigkeit und eine typischeAustrittsarbeit zwischen -4,7eV und -5,0eVbesitzt [179–181]. Transparenz, Leitfähigkeit undAustrittsarbeit können dabei stark variieren und hängen von den Herstellungsparametern bzw.derNachbehandlungderprozessiertenITO-Schichtenab.Typischerweise wird ITOgesputtert [182, 183], kann aber auch thermisch verdampftwerden [184,185].NebendenProzessparameternwiedemSauerstoffgehaltdesSput- tergases sind vor allemanschließendeTemperatur- undPlasmabehandlungen für die Transparenz- und Leitfähigkeit des ITOs verantwortlich [186] (siehe auchKapitel6).VondenProzess-undNachbehandlungsparameternhängtau- ßerdemderBrechungsindexab,der zwischen1,9und2,1 liegt [187]. PEDOT:PSS DiePolymerePEDOT(Poly-3,4-ethylendioxythiophen)undPSS(Polystyrol- sulfonat) bilden das leitfähige Polymer PEDOT:PSS, welches ein weit ver- breitetes Lochinjektions- und Transportmaterial insbesondere bei flüssigpro- zessierten OLEDs ist. PEDOT:PSS ist in Wasser dispergiert, und kann in verschiedenen Derivaten bezogen werden. Diese unterscheiden sich in der Leitfähigkeit, Transparenz, dem PH-Wert, dem Feststoffgehalt und der La- ge der HOMO/LUMO-Niveaus. Typische Werte für die Lage des HOMO- Niveaus liegen zwischen -4,8eVund -5,2eV,während dieLage desLUMO- Niveaus zwischen -2,4eV und -2,6eV variiert [188, 189]. Das im Rahmen dieserArbeitverwendetePEDOT:PSSwurdevonderHeraeusPreciousMetals GmbH&Co.KGbezogen.EskamenimWesentlichendieDerivateVPAI4083 undPH1000zumEinsatz. VPAI4083 eignet sich mit einem HOMO-Niveau von etwa -5,1eV bis - 5,2eV [190] als Lochinjektions- und Transportmaterial. Das vomHersteller erworbene VPAI4083 wurde vor der Prozessierung zunächst mit einem hydrophilen 0,22μmPartikelfilter gefiltert undmit deionisiertemWasser im Verhältnis1:1verdünnt. DasDerivatPH1000zeichnet sichdurcheinebesondershoheLeitfähigkeit 59