Page - 63 - in Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden

3.3 Fotolithografie wurde,gezeigt6.ZurVerarbeitungwurdeSuperYellowindehydriertem Toluol in einerKonzentration von 3mgml gelöst. TypischeSchichtdicken lagen bei ca. 60-70nm. Das Polymer zeichnet sich durch seine relativ geringe Empfindlichkeit gegenüber Sauerstoff undWasser aus, weshalbdiesesPolymerhauptsächlich fürdie imRahmendieserArbeit hergestelltenflexiblenOLEDsverwendetwurde. • SuperOrange:SuperOrangeistwieSuperYellowphenylsubstituiertes PPV-Derivat mit etwas abgeänderten (längeren) Lumophoren zur orangenenEmission.DieProzessparametervonSuperOrange indieser ArbeitwarendieselbenwiediedesSuperYellows. In Abbildung 3.2.4 sind die vier verwendeten Emittermaterialien unter UV- Anregung in Lösung (Abb. 3.2.4a), nach demSpincoaten als dünne Schicht (Abb.3.2.4b)undalsfertigprozessiertesBauteil imelektrischenBetrieb(Abb. 3.2.4c) zusehen. ElektroneninjektionundKathode Als Kathode wurde im Rahmen dieser Arbeit eine kombinierte Schicht aus 1nm Lithiumfluorid (LiF) und 200nm Aluminium (Al) verwendet. Aluminium besitzt intrinsisch eine Austrittsarbeit von ca. -4,2eV, weshalb die Injektionsbarriere fürElektronenhoch ist (sieheBanddiagramme inAbb. 3.2.3).Die sehr dünneSchicht LiF begünstigt dabei die Elektroneninjektion. Die injektionsbegünstigendenEigenschaften des Salzeswerden oftmit einer AufspaltungdesLiFdurchReaktionmitAluminium inmetallischesLithium begründet,welchesdieOrganiknahederElektroden-dotiert [197–199]. 3.3 Fotolithografie Fotolithografiewird inderRegeldafürgenutzt,Mikro-undNanostrukturen in einenfotoaktivenLackabzubildenunddieseüberweitereSchritte ineinande- resMaterial zu übertragen. ImRahmendieserArbeitwurden diverseMikro- 6DieWerte für HOMO/LUMO-Niveaus des Super Yellow entsprechen gängigen Literaturwerten [68, 195, 196] 63