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3 MethodenundMaterialien Da für einige der in dieser Arbeit entwickelten Schichten und Strukturen zurBeurteilung derQualität einMaß für die Streuung einer Schicht benötigt wurde, wurde ein Streukoeffizient χStreu definiert. Er ergibt sich aus dem QuotientendesgestreutenLichtsTGestreut undderGesamttransmissionTGesamt wie folgt: χStreu= TGestreut TGesamt = TGesamt−TDirekt TGesamt . (3.4.2) Hier bei entsprichtTDirekt der direkt gemessenenTransmission eines streuen- denMediums. Für ein ideal streuendesMedium (lambertsch streuend) ergibt sich soeinStreukoeffizientvonχStreu=1. 3.4.4 Flächenwiderstandsmessung Der elektrische Widerstand dünner Schichten wird über den Flächenwider- standangegeben.DabeimussdieFlächenausdehnungsehrgroßgegenüberder Schichtdicke sein. In diesemFall gilt, dass eine quadratische Schicht, unab- hängigvonderKantenausdehnung, dengleichenWiderstandbesitzt.EinFlä- chenwiderstandR hat dieEinheitOhm[Ω],wobei zur besserenUnterschei- dungzumohmschenWiderstandFlächenwiderständeoft inOhmproQuadrat [Ω ] angegebenwerden.R ergibt sichaus folgendemZusammenhang: R =ρ ·LA. (3.4.3) Hierbei entspricht L der Länge der Fläche, A der Querschnittfläche der Schicht und ρ entspricht dem spezifischen Widerstand des Materials. Der Flächenwiderstand wird oftmals über sogenannte 4-Punkt Messungen ermittelt. ImRahmen dieser Arbeit wurde der Flächenwiderstandmit der in Abbildung 3.4.4 dargestelltenMethode bestimmt. Die zumessende Schicht wurde in einem Rechteck auf einem Substrat prozessiert. An den äußeren Enden wurde Silberleitlack aufgebracht, so dass eine quadratische Schicht resultiert. Mit einem Multimeter kann nun der elektrische Widerstand der quadratischen Fläche gemessen werden. DieseMethode kann daher sowohl inert als auchunternormalerAtmosphäredurchgeführtwerden. 76