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4 ExterneAuskopplung Si-WaferSU-8 (a) Si-Wafer (b) PDMS (c) PDMS (d) PDMS GlassubstratPMMA (e) kg Glassubstrat (f) °C Glassubstrat (g) Masterarray (h) PDMS (i) OLEDPMMA (j) kg OLED (k) Mikrolinsenarray (l) Abb.4.1.1:Herstellungsprozess derMikrolinsenarrays. (a) & (b) Belichtung und Entwick- lungvonSäulen inSU-8. (c)& (d)GießenderSäulen inPDMSzurHerstellung eines PDMS-Stempels. (e) & (f) Stempeln der Säulen in gelöstes PMMA. (g) & (h) Schmelzen der Säulen zu einem Mikrolinsenarray. (i) Herstellung eines PDMS-MLA-Stempels. (j)-(l) Stempeln der MLAs auf eine fertig prozessierte OLED. 82