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4.1 HerstellungundCharakterisierungvonMLAs Fläche gleichmäßigmit 0,11 kgcm2 angepresst (Abb. 4.1.1f). Bei höheremAn- pressdruckkonnteeine leichteVerzerrungdesflexiblenPDMS-Stempels, und damit einhergehend eineVerformung der Säulenstruktur beobachtet werden. EinzuniedrigerDruckkanndazu führen,dassdasviskosePMMAunterdem Stempel verläuft, und damit eine undefinierte Struktur entsteht. Nach dem Aushärten des PMMAs bei Raumtemperaturwurde der PDMS-Stempel ent- fernt. Die auf dem Substrat resultierenden PMMA-Säulenwurden auf einer Heizplatte bei 250°Cangeschmolzen (Abb. 4.1.1g),wodurch sichdieSäulen zuMikrolinsen zusammenziehen (Abb. 4.1.1h). DieDauer dieses sogenann- tenReflows (zu deutsch:Rückfluss) beeinflusstmaßgeblich die resultierende FormderLinsen.Der soentstandeneMaster desMLAswurdenunwiezuvor dieLacksäulen inPDMSgegossen(Abb.4.1.1i).DersoentstandeneMikrolin- senstempel wurde dazu verwendet, das Array schnell zu reproduzieren. Auf denGlas/Luft-Übergang einer fertig verkapseltenOLEDwurde eine inAni- sol gelöste PMMA-Schicht gebracht (Abb. 4.1.1j) undderMikrolinsenarray- Stempel ebenfalls wiedermit 0,11 kgcm2 angepresst. Nach demAushärten des PMMAs bei Raumtemperaturwurde der Stempel abgezogen und das fertige MLAresultiert aufderOLED(Abb.4.1.1l). DerVorteildiesesVerfahrens ist,dasssichüberdieHöhe,denDurchmesser unddenAbstandderSäulen,sowieüberdieReflow-Parametermehrodermin- der jede beliebige Mikrolinsengeometrie erreichen lässt. Einmal hergestellt kann derMikrolinsenstempel quasi beliebig oft verwendet werden3. In Ab- bildung 4.1.2 sind beispielhafte Rasterelektronenmikroskop-(REM)Aufnah- men diverser MLAs mit verschiedenen Mikrolinsengrößen und Geometrien gezeigt.WeiterhinkannsoeinMLAaufeineOLEDprozessiertwerden,ohne diesedurcheine thermischeBelastungzudegradieren. 4.1.2 T-Topping Die zur optischen Fotolithografie verwendeten Quecksilberdampflampen besitzen verschiedene Linien im Emissionsspektrum, welche als die so 3DiePDMS-StempelkönnennachGebrauch ineinemAceton-Ultraschallbadgereinigtwerden. 83