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4 ExterneAuskopplung (a) (b) (c) (d) Abb.4.1.3:REM-Aufnahmen. (a) und (b) Säulenstrukturen mit T-Topping. Es ist zu erkennen,dasseinzelneSäulenmiteinander„pilzförmig”verbundensind. (c)und (d) Durch den Einsatz eines UV-Filters bei der Fotolithografie lässt sich das T-Topping reduzieren und damit die dargestellten Säulenstrukturen mit steilen Flankenherstellen. 86