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5.2 TiO2-Bragg-Gitter
FirmaCryLasGmbH)mit einerEmissionswellenlängevonλ=266 nmwurde
über einen Strahlteiler in zwei Teilstrahlen aufgespalten. Diesewurden über
Drehspiegel in einem definierten Winkel zueinander abgelenkt. Da es in
diesem Wellenlängenbereich keine idealen Strahlteiler gibt, besitzen die
beiden Teilstrahlen eine unterschiedliche Intensität. In den Teilstrahl mit
höherer Intensität wurde aus diesem Grund ein teildurchlässiger Spiegel
gebracht, umdie Intensität anzugleichen.Der vondiesemSpiegel reflektierte
Anteil wurde auf eine Fotodiode gelenkt, über welche so die relative
Intensität des Lasers gemessen wurde. Dieses Signal diente zur Einstellung
der Belichtungsdosis undwurde vor jeder Belichtung kalibriert. Über Streu-
und/oder Beugungseffekte an den optischen Komponenten, sowie durch
Streuung an Partikeln in der Luft, wird das gaußsche Strahlprofil des Lasers
gestört, so dass dasStrahlprofil typischerweise konzentrischeRinge aufzeigt.
Umdiesezufiltern,wurdenbeideTeilstrahlenübereinObjektiv ineinPinhole
fokussiert. Die Fokussierung in das Pinhole dient als Raumfilter, so dass
das gefilterte Strahlprofil annähernd gaußförmig ist.Weiterhinwerden durch
die Fokussierung die beiden Teilstrahlen aufgeweitet. Auf einer hinreichend
weit entfernten Probe können dieWellenfronten als eben angesehenwerden,
wodurchein Interferenzmuster aufdieProbeabgebildetwird.
FQCW 266-50/100
λ = 266 nm
P=100 mW Strahl-
teiler Spiegel Objektiv
Probe
Objektiv
Pinhole
Pinhole
Fotodiode
Spiegel
Teildurch-
lässiger
Spiegel
Abb.5.2.2:SchemadeszurLaserinterferenzlithografieverwendetenAufbaus.
Es bildet sich ein wie in Abbildung 5.2.3 dargestelltes sinusoidales
InterferenzmusterimFotolackaus,welchesanalytischberechnetwerdenkann.
Hierzu wird im Folgenden davon ausgegangen, dass die Einfallswinkel der
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Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
- Title
- Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
- Author
- Tobias Bocksrocker
- Publisher
- KIT Scientific Publishing
- Location
- Karlsruhe
- Date
- 2013
- Language
- German
- License
- CC BY-NC-ND 3.0
- ISBN
- 978-3-7315-0048-3
- Size
- 21.0 x 29.7 cm
- Pages
- 246
- Keywords
- Organische Leuchtdioden, OLEDs, Lichtauskopplung
- Categories
- Abschlussarbeiten
- Technik