Page - 115 - in Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden

5.2 TiO2-Bragg-Gitter FirmaCryLasGmbH)mit einerEmissionswellenlängevonλ=266 nmwurde über einen Strahlteiler in zwei Teilstrahlen aufgespalten. Diesewurden über Drehspiegel in einem definierten Winkel zueinander abgelenkt. Da es in diesem Wellenlängenbereich keine idealen Strahlteiler gibt, besitzen die beiden Teilstrahlen eine unterschiedliche Intensität. In den Teilstrahl mit höherer Intensität wurde aus diesem Grund ein teildurchlässiger Spiegel gebracht, umdie Intensität anzugleichen.Der vondiesemSpiegel reflektierte Anteil wurde auf eine Fotodiode gelenkt, über welche so die relative Intensität des Lasers gemessen wurde. Dieses Signal diente zur Einstellung der Belichtungsdosis undwurde vor jeder Belichtung kalibriert. Über Streu- und/oder Beugungseffekte an den optischen Komponenten, sowie durch Streuung an Partikeln in der Luft, wird das gaußsche Strahlprofil des Lasers gestört, so dass dasStrahlprofil typischerweise konzentrischeRinge aufzeigt. Umdiesezufiltern,wurdenbeideTeilstrahlenübereinObjektiv ineinPinhole fokussiert. Die Fokussierung in das Pinhole dient als Raumfilter, so dass das gefilterte Strahlprofil annähernd gaußförmig ist.Weiterhinwerden durch die Fokussierung die beiden Teilstrahlen aufgeweitet. Auf einer hinreichend weit entfernten Probe können dieWellenfronten als eben angesehenwerden, wodurchein Interferenzmuster aufdieProbeabgebildetwird. FQCW 266-50/100 λ = 266 nm P=100 mW Strahl- teiler Spiegel Objektiv Probe Objektiv Pinhole Pinhole Fotodiode Spiegel Teildurch- lässiger Spiegel Abb.5.2.2:SchemadeszurLaserinterferenzlithografieverwendetenAufbaus. Es bildet sich ein wie in Abbildung 5.2.3 dargestelltes sinusoidales InterferenzmusterimFotolackaus,welchesanalytischberechnetwerdenkann. Hierzu wird im Folgenden davon ausgegangen, dass die Einfallswinkel der 115