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5 InterneAuskopplung
Substrat FotolackITO
(a) Lackgitter
(b)
TiO2
(c) TiO2-Gitter
(d)
WOLED-Stack
(e) Mikrolinsenarrays
(f)
Abb.5.2.4:Herstellungsprozess derWOLEDsmit TiO2-Gittern undMikrolinsenarrays. (a)
Einmit Fotolack beschichtetes ITO-Substrat wirdmittels Laserinterferenzlitho-
grafie belichtet. (b) Nach der Entwicklung resultiert ein Fotolackgitter auf dem
Substrat. (c) Eswird eine Schicht TiO2 aufgedampft. (d)Nach demLift-Off re-
sultiert einTiO2-Gitter auf demSubstrat. (e) Ein („warm-weißer”)OLED-Stack
wird auf das Substrat prozessiert. (f) Auf denGlas/Luft-Übergangwird einMi-
krolinsenarraygestempelt.
bildet einen hohen Kontrast zu der umgebenden Organik (nOrganik= 1,7−
1,9),wasdieBragg-Streuungbegünstigt (vgl.Abschnitt 5.2.1).
In Abbildung 5.2.4 ist eine Übersicht über die einzelnen Schritte zur
Herstellung der untersuchtenBauteile zu sehen.Über das inAbschnitt 5.2.2
beschriebeneVerfahrenderLaserinterferenzlithografiewurde in eine sich auf
einemmit ITObeschichtetenGlassubstrat befindendenFotolackschicht (AR-
P 3170) eine Gitterstruktur belichtet und entwickelt (Abb. 5.2.4a). Auf das
resultierende Lackgitter (Abb. 5.2.4b) wurde mit Hilfe des Verfahrens des
Elektronenstrahlverdampfens eine Schicht TiO2 aufgebracht (Abb. 5.2.4c).
Nach einem Lift-Off-Prozess resultiert das TiO2-Bragg-Gitter auf der ITO-
Schicht (Abb. 5.2.4d). Auf das so strukturierte ITO-Substrat wurden, wie
in Abschnitt 3.2.1 beschrieben, „warm-weiße”-OLEDs prozessiert (Abb.
5.2.4e).Auf denSubstrat/Luft-Übergangwurde schließlichnochoptional ein
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Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
- Title
- Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
- Author
- Tobias Bocksrocker
- Publisher
- KIT Scientific Publishing
- Location
- Karlsruhe
- Date
- 2013
- Language
- German
- License
- CC BY-NC-ND 3.0
- ISBN
- 978-3-7315-0048-3
- Size
- 21.0 x 29.7 cm
- Pages
- 246
- Keywords
- Organische Leuchtdioden, OLEDs, Lichtauskopplung
- Categories
- Abschlussarbeiten
- Technik