Page - 118 - in Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden

5 InterneAuskopplung Substrat FotolackITO (a) Lackgitter (b) TiO2 (c) TiO2-Gitter (d) WOLED-Stack (e) Mikrolinsenarrays (f) Abb.5.2.4:Herstellungsprozess derWOLEDsmit TiO2-Gittern undMikrolinsenarrays. (a) Einmit Fotolack beschichtetes ITO-Substrat wirdmittels Laserinterferenzlitho- grafie belichtet. (b) Nach der Entwicklung resultiert ein Fotolackgitter auf dem Substrat. (c) Eswird eine Schicht TiO2 aufgedampft. (d)Nach demLift-Off re- sultiert einTiO2-Gitter auf demSubstrat. (e) Ein („warm-weißer”)OLED-Stack wird auf das Substrat prozessiert. (f) Auf denGlas/Luft-Übergangwird einMi- krolinsenarraygestempelt. bildet einen hohen Kontrast zu der umgebenden Organik (nOrganik= 1,7− 1,9),wasdieBragg-Streuungbegünstigt (vgl.Abschnitt 5.2.1). In Abbildung 5.2.4 ist eine Übersicht über die einzelnen Schritte zur Herstellung der untersuchtenBauteile zu sehen.Über das inAbschnitt 5.2.2 beschriebeneVerfahrenderLaserinterferenzlithografiewurde in eine sich auf einemmit ITObeschichtetenGlassubstrat befindendenFotolackschicht (AR- P 3170) eine Gitterstruktur belichtet und entwickelt (Abb. 5.2.4a). Auf das resultierende Lackgitter (Abb. 5.2.4b) wurde mit Hilfe des Verfahrens des Elektronenstrahlverdampfens eine Schicht TiO2 aufgebracht (Abb. 5.2.4c). Nach einem Lift-Off-Prozess resultiert das TiO2-Bragg-Gitter auf der ITO- Schicht (Abb. 5.2.4d). Auf das so strukturierte ITO-Substrat wurden, wie in Abschnitt 3.2.1 beschrieben, „warm-weiße”-OLEDs prozessiert (Abb. 5.2.4e).Auf denSubstrat/Luft-Übergangwurde schließlichnochoptional ein 118