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6.1 Herstellungsphärisch-texturierterOLEDs 6.1 Herstellungsphärisch-texturierterOLEDs Die inAbbildung6.0.1gezeigte sphärischeTexturierungdesOLED-Substrats könnte durch die in Kapitel 4 vorgestellten Mikrolinsenarrays (MLAs) vorgenommen werden. In diesem Fall würde der WOLED-Stack direkt auf das MLA prozessiert werden. Die Lösemittel, welche bei der in dieser Arbeit verwendeten Flüssigprozessierung der WOLEDs eingesetzt werden, lösen allerdings die PMMA-Mikrolinsenarrays an, weshalb eine MethodezursphärischenTexturierungderSubstrateentwickeltwurde,welche lösemittelbeständigist.ZursphärischenTexturierungderSubstratewurdeeine Monolage aus SiO2-Mikropartikeln verwendet. DieseMikropartikel dienten als Formgeber, aufwelche schließlich derWOLED-Stack prozessiertwurde. ImFolgendenwird zunächst dieHerstellung derMonolagen erläutert, bevor auf die Besonderheiten der Dünnschichtprozessierung des WOLED-Stacks aufdieMonolageeingegangenwird. 6.1.1 HerstellungsprozessderMonolagen Es gibt diverse Ansätze zur Herstellung von Monolagen aus Mikro- oder Nanopartikeln.ZumBeispielwurdedurchSpincoating [241]oder einemdem RakelnähnlichenProzess,genauerdurchdieAusnutzungvonKapillarkräften, Monolagen prozessiert [242]. Auch Prozesse über Tauchbeschichtung (engl. dip-coating) [243] oder durch elektrostatisches Aufladen von Partikel [244] wurdenbereitsdazugenutzt,Monolagenherzustellen. Derhier entwickelteProzesszurHerstellungderMonolagenausMikropar- tikeln basiert auf einemmodifizierten Spincoating-Prozess. Abbildung 6.1.1 gibt eine Übersicht über die Herstellung der Monolagen. Die verwendeten monodispersenSiO2-Mikropartikelnwurden inWasserdispergiertmitDurch- messernvon0,585μm,1,55μmund7μmmiteinemFeststoffgehaltvon50mgml bezogen (microParticlesGmbH). Bei einemregulärenSpincoatingprozess, z.B. beimAufbringeneiner orga- nischenSchicht, ist die verwendeteMenge anLösungnicht ausschlaggebend für die resultierende Schichtdicke (vgl.Abschnitt 3.1.2). Es hat sich gezeigt, dass bei der ProzessierungderMonolagendurchSpincoatingdie verwendete 135