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6 KombinierteAuskopplung Menge anLösung inAbhängigkeit der zu beschichtendenSubstratgröße, so- wie der Partikelgröße, bzw. des Feststoffgehalts, angepasstwerdenmuss. Zu wenigLösung führte zu lückenhaftenMonolagen und zu hoheKonzentratio- nen resultierten inMehrfachlagenderMikropartikel.Beidenhier imWesent- lichenverwendeten25mmx25mmgroßenSubstratenunddenhauptsächlich eingesetzten1,55μmgroßenPartikelnwurdeeineMengevon75μlbei einem Feststoffgehalt von50mgml experimentell bestimmt. (a) -1100 min (b) -12000 min (c) °C (d) Abb.6.1.1:Prozesskette zur Herstellung von Monolagen aus monodispersen SiO2- Mikropartikeln. (a) Die in Wasser dispergierten Mikropartikel werden auf ein Substrat pipettiert. (b) Das Substrat wird sehr langsam für einige Minuten ge- dreht. (c) Für einige wenige Sekunden wird das Substrat beschleunigt. (d) Die resultierendeMonolagewirdgetempert. Die SiO2-Mikropartikeldispersion wurde auf einem gereinigten Glas- Substratgleichmäßigverteilt (Abb.6.1.1a).DasSubstratwurdesehr langsam, bei 100min-1 fürmindestens 2min gedreht.Dabei legten sich dieMikropar- tikel gleichmäßig auf demSubstrat ab, und es bildete sich amRanddesSub- strats einMeniskus, bzw. eineAufhäufungvonPartikeln (sieheAbb. 6.1.1b). Das Substrat wurdemit 800s-1 auf 2000min-1 beschleunigt und abrupt bei Erreichen der 2000min-1 gestoppt (Abb. 6.1.1c). Hierdurch wird das über- schüssigWasser herunter geschleudert.Außerdemwerden durch das abrupte 136