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6.1 Herstellungsphärisch-texturierterOLEDs
(a) (b)
Abb.6.1.3:REM-Aufnahmeneinesmit einemFIBangefertigtenQuerschnitts. (a)Monolage
mitaufgesputtertemITOundOLED-Stack.Esistzuerkennen,dassdieSchichten
nicht durchgängig sind. (b) Mit SU-8 gefüllte Monolage mit aufgesputtertem
ITO und OLED-Stack. Durch das „Auffüllen” der Zwischenbereiche sind die
Schichtendurchgängig.
thermisch vernetzt. Um eventuelle unvernetzte Anteile dieser Lackschicht
zu entfernen wurde diese noch entwickelt. SU-8 eignet sich insbesondere
wegen seines Brechungsindex von nSU-8≈1,55 [245] als Füllmaterial,
womit eine relativ gute Anpassung des optischen Brechungsindex an das
Glassubstrat unddieSiO2-Mikropartikel gegeben ist.Weiterhin zeichnet sich
SU-8 durch seine chemische Stabilität im vernetzten Zustand aus, was die
Flüssigprozessierung einerWOLEDunddendamit verbundenenEinsatz von
Lösemitteln ermöglicht. In Abbildung 6.1.3b ist der Querschnitt einer fertig
prozessierten WOLED zu sehen. Es ist zu erkennen, dass die Schichten,
insbesondere die ITO-Anode (unterste, helle Schicht), durchgängig sind.
Weiterhin ist zu erkennen, dass sichdasSU-8nicht auf denPartikeln absetzt,
sondern lediglichdieZwischenräumefüllt.
Durch den Einsatz von SU-8 ergeben sich allerdings Probleme bei der
Prozessierung der ITO-Anode. ITO muss nach dem Sputterprozess für
mehrere Tage bei ca. 500°C an Luft getempert werden. In Abbildung
6.1.4 ist die Transmission und der Flächenwiderstand einer 150nm ITO-
Schicht auf einem Glassubstrat in Abhängigkeit der Dauer der Temperung
dargestellt. Es ist zu erkennen, dass einfach gesputtertes ITO eine geringe
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Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
- Title
- Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
- Author
- Tobias Bocksrocker
- Publisher
- KIT Scientific Publishing
- Location
- Karlsruhe
- Date
- 2013
- Language
- German
- License
- CC BY-NC-ND 3.0
- ISBN
- 978-3-7315-0048-3
- Size
- 21.0 x 29.7 cm
- Pages
- 246
- Keywords
- Organische Leuchtdioden, OLEDs, Lichtauskopplung
- Categories
- Abschlussarbeiten
- Technik