Page - 153 - in Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden

7.1 FlexibleAnoden Gold) für dieNetzstrukturenuntersucht.Diesewurden thermisch auf dasmit Fotolack strukturierte Substrat aufgedampft. Nach einem Lift-Off (vgl. Ab- schnitt3.3.2) resultiertdamiteinemetallischeNetzstrukturaufderBarrierefo- lie (sieheAbb.7.1.2c).DaGoldsehr schlechteHaftungseigenschaftenaufder Barrierefolie gezeigt hat, wurde alsHaftvermittler bei den hier untersuchten Goldnetzen eine 5nmdicke Schicht Chromverwendet. Aluminiumund Sil- berwurdendirekt auf dieBarrierefolie prozessiert.DieHöhederMetallnetze wurdedabei zwischen25nmund45nmvariiert. Alle folgenden Schritte wurden unter Stickstoffatmosphäre durchgeführt. Um eine flächige Leitfähigkeit der Anode zu erreichen, wurde das hochleit- fähige Polymer PEDOT:PSS, genauer gesagt dasDerivat PH1000 (vgl. Ab- schnitt 3.2.2) in einer 80nmdickenSchicht auf dieMetallnetzegespincoated (siehe Abb. 7.1.2d). Wie bereits erwähnt ist PET stark hygroskopisch. Um sämtlichesWasser aus denSubstratenmit den entsprechendenHybridanoden zuentfernen,wurdendieSubstrate fürmindestens12h ineinemVakuumofen bei80°Causgeheizt2. Auf die fertigeHybridanodewurde schließlich, wie inAbschnitt 3.2.1 er- läutert, eine OLED mit dem Emitter „Super Yellow” prozessiert. In Abbil- dung 7.1.4 ist ein schematischer Querschnitt der hier verwendeten flexiblen OLEDs dargestellt. ZurVerkapselungwurde einemit einemdrucksensitiven Kleber beschichteteBarrierefolie (FTB3-125a, bezogen von 3M) verwendet. Um Wasserrückstände zu entfernen wurde die Verkapselungsfolie, wie das Substrat, für 12h bei 80°C in einem Vakuumofen, ausgeheizt. Die Verkap- selungsfoliewurde auf dieRückseite derOLEDgebracht, sodass der eigent- licheOLED-Stack sandwichartig zwischen derBarriereschicht des Substrats undderderVerkapselungsfolie eingeschlossen ist, vgl.Abb.7.1.4. 7.1.2 CharakterisierungAnode ImFolgendensoll zunächstdieTransmissionderHybridelektroden inAbhän- gigkeitdesverwendetenMetallsundderNetzgeometrieuntersuchtwerden. In Abbildung7.1.5sinddiegemessenenTransmissionenderverschiedenenNetz- 2LautHerstellerangabenkannsichdieBarriereschichtbeihöherenTemperaturenals80°Czersetzen. 153