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A Anhang
A.1 Prozessparameter
Die imfolgendenangegebenenProzessparameter sind typischeWertewie sie
indieserArbeit fürdasEquipmentdesLTI-Reinraumsverwendetwurden.
A.1.1 MgF2-Mikrosäulen
Substratreinigung AcetonundUltraschall 10min
IsopropanolundUltraschall 10min
Sauerstoffplasma 2min
Haftvermittler TIPrime:
3000min-1 20s
Ausheizen:100°C 2min
Belacken ma-p1215:
500min-1 5s
2000min-1 30s
Ausheizen:100°C 90s
Belichtenund
Entwickeln Belichtungsdauerabhängigvon
Strukturgröße 30s-40s
Entwicklungmitma-D331 40s
Ätzen HCl (38%) 7min
StoppenmitH2O 1min
Bedampfen AufdampfenvonMgF2beimind.
10-6mbar (PiekeVak)
Lift-Off AcetonundUltraschall 1min
IsopropanolundUltraschall 1min
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Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
- Title
- Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
- Author
- Tobias Bocksrocker
- Publisher
- KIT Scientific Publishing
- Location
- Karlsruhe
- Date
- 2013
- Language
- German
- License
- CC BY-NC-ND 3.0
- ISBN
- 978-3-7315-0048-3
- Size
- 21.0 x 29.7 cm
- Pages
- 246
- Keywords
- Organische Leuchtdioden, OLEDs, Lichtauskopplung
- Categories
- Abschlussarbeiten
- Technik