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A Anhang
A.1.2 Bragg-Gitter
Substratreinigung AcetonundUltraschall 10min
IsopropanolundUltraschall 10min
Sauerstoffplasma 2min
Haftvermittler HMDSimExsikkator 15-30min
Belacken AR-P3170:
500min-1 5s
3000min-1 20-35s
Ausheizen:80°C 60s
Substratpräparation KantenundRückseite schwärzen
Belichtung Belichtungsdosis16-20 mJ
cm2
Entwicklung AR300-35verdünntmitH2Oim
Verhältnis5:1 30s
StoppenmitH2O 10s
Bedampfen AufdampfenvonTiO2beimind.
10-6mbar (Univex)
Lift-Off AcetonundUltraschall 10min
IsopropanolundUltraschall 10min
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Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
- Title
- Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
- Author
- Tobias Bocksrocker
- Publisher
- KIT Scientific Publishing
- Location
- Karlsruhe
- Date
- 2013
- Language
- German
- License
- CC BY-NC-ND 3.0
- ISBN
- 978-3-7315-0048-3
- Size
- 21.0 x 29.7 cm
- Pages
- 246
- Keywords
- Organische Leuchtdioden, OLEDs, Lichtauskopplung
- Categories
- Abschlussarbeiten
- Technik