Seite - 57 - in Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden

3.2 OLED-Herstellung Sauerstoffplasma gereinigt wird. Die Prozessierung der ITO-freien Anoden fandebenfalls ineinerGloveboxunterStickstoffatmosphäre statt. AlsAnodenmaterialwird das Polymer PEDOT:PSS in Formdes hochleit- fähigenDerivatesCleviosPH1000verwendet.Dieseswird ineiner ca. 80nm dicken Schicht (sieheAbbildung 3.2.2a) aufgeschleudert. Zur späterenKon- taktierungwurde das PH1000 strukturiert. Hierzu wurde ein 13mmbreites Glasplättchen als Maskierung auf die Schicht gelegt und mit Dicing-Tape2 aufdemOLED-Substratfixiert.Die freibleibendenPH1000Bereichewurden in einemSauerstoffplasma 6min lang geätzt. Es resultiert ein 13mmbreiter PH1000 Streifen auf dem Substrat (siehe Abb. 3.2.2b). Diese Schicht wur- de anschließend für ca. 30min in einemVakuumofen bei 130°C ausgeheizt. Darauf folgendwurde das emittierendePolymer aufgeschleudert (sieheAbb. 3.2.2c).Umspäter dieAnode zukontaktierenwurdemit einem inToluol ge- tränkten fusselfreiemWattestäbchen das emittierende Polymer an den äuße- ren Bereichen des PEDOT-Streifen entfernt (siehe Abbildung 3.2.2d). Dar- aufhinwurdewie bei derHerstellungder ITO-basiertenOLEDsdieKathode ausLiF undAl aufgedampft (Abb. 3.2.2e) und das fertigeDevice verkapselt (Abb.3.2.2f).DieITO-freienOLEDshabenebenfallsvier5mmx5mmgroße Leuchtflächen. 3.2.2 VerwendeteMaterialienundParameter Im Folgenden sollen die wichtigsten imRahmen dieser Arbeit verwendeten OLED-Materialien für Anode, Transport- und Emissionsschichten sowie Kathodenvorgestelltwerden. ITO Indiumzinnoxid ist das für OLEDs amweitesten verbreitete Anodenmateri- al und wurde im Rahmen dieser Arbeit entweder bereits fertig prozessiert auf Glas (bzw. PET, siehe Kapitel 7) erworben oder eigens gesputtert (sie- heKapitel 6). ITO ist ein elektrisch leitfähigesMetalloxid,welches sich aus 2BeiDicing-Tape handelt es sich umeinKlebeband,welches rein aufAdhäsionskräften basiert. Es arbeitet alsoohneKlebstoffeundkanndamit rückstandsfrei entferntwerden. 57