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3.4 Mess-undCharakterisierungsmethoden Detektor Probe TDirekt (a) U-Kugel TGesamt (b) RGesamt (c) Abb.3.4.3:Schematische Darstellung desMessprinzips eines UV/VIS/NIR Transmissions- /Reflexions-Spektrometers für die (a) direkte Transmission, (b) die gesamte Transmissionund (c)dieReflexioneinerProbe. danndie Intensität der beidenTeilstrahlendetektiert und sodieTransmission desMediums bestimmt. Dabei wird nur Licht welches senkrecht durch das Substrat transmittiert wird gemessen, gestreutes Licht wird nicht detektiert. Deshalbwird bei derMessung der gesamten Transmission die Probe an der Öffnung einer U-Kugel (siehe auch Abschnitt 3.4.1) angebracht. Mit Hilfe derU-Kugel kann so das gesamte transmittierte Licht einer Probe gemessen werden.Weiterhin lässt sich durch die Probenposition in der U-Kugel (ver- gleicheAbbildung3.4.3c) auchdieReflexioneiner nicht spiegelndenSchicht messen. Die Absorption des entsprechenden Mediums ergibt sich dann aus dergemessenenTransmissionTundReflexionRwie folgt: A=1−T−R. (3.4.1) Sämtliche indieserArbeitangegebenenTransmissionswertewurdenmitHilfe einer U-Kugel gemessen, wobei bei allen angegebenWerten dieAbsorption desSubstratesherausgerechnetwurde. 75