Seite - 101 - in Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden

5.1 MgF2-Mikrosäulen bis zu 2 gesteigertwerden. InKombinationmit den inKapitel 4 diskutierten Mikrolinsenarrays konnte die Effizienz weißer OLEDs insgesamt um den Faktor 4 gesteigert werden. Diese optimierten OLEDs zeigen dabei keinen FarbwinkelverzugundbesitzeneineLambertscheAbstrahlcharakteristik. 5.1 MgF2-Mikrosäulen Daessichbeider internenLichtauskopplungdurchMikrostrukturenumeinen refraktivenStreuprozess1 handelt, sindvor allemAnsätzeüberMikrostruktu- renvielversprechend,dazunächstkeinewellenlängen-und/oderwinkelabhän- gigeSelektivitätbeiderAuskopplungzuerwarten ist. IndieserArbeitwurden Mikrosäulen aus dem niederbrechendenMaterialMagnesiumfluorid (MgF2) in den von der ITO-Anode und derOLEDgebildetenWellenleiter integriert. Eskonntegezeigtwerden,dassdiedadurcherzielteStörungdesWellenleiters zueiner erhöhtenLichtauskopplungausOLEDsführt. 5.1.1 HerstellungMgF2-Mikrosäulen In Abbildung 5.1.1 ist eine Übersicht über den Herstellungsprozess der in dieser Arbeit entwickelten MgF2-Mikrosäulen und deren Integration in die ITO-Anode dargestellt. Ausgehend von einem gereinigten und mit Fotolack (ma-P 1215) beschichteten ITO-Substrat (Abb. 5.1.1a) wurden Säulenstrukturenmit2,5μmDurchmesser indenLackübereinenklassischen fotolithografischenProzess (vgl.Abschnitt3.3)belichtetundentwickelt (Abb. 5.1.1b). Der Abstand der Säulen wurde dabei zwischen 5μm, 10μm und 15μm variiert. Die Lackschicht diente als Ätzmaske, um die durch die Säulenstruktur imLackfreigelegtenITO-Stellenmittelseinesnasschemischen Ätzprozesses (Abb. 5.1.1c) durch konzentrierte Salzsäure zu entfernen. Die Säulenstrukturwurde somit indie ITO-Schicht übertragen (Abb.5.1.1d).Auf das Substrat wurde nun MgF2 thermisch aufgedampft (Abb. 5.1.1e). Die Dicke dieser aufgedampften Schicht entspricht dabei der späterenHöhe der 1Der Übergang zwischen refraktiver und diffraktiver Optik ist nicht eindeutig definiert. Prinzipiell können Optiken, deren geometrischeAusdehnung deutlich größer als dieWellenlänge desLichts ist, als refraktiv angesehenwerden. 101