Seite - 120 - in Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
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5 InterneAuskopplung
(a) (b)
(c) (d)
Abb.5.2.5: (a) REM-Aufnahmen eines TiO2-Bragg-Gitter auf ITO. (b) TiO2-Bragg-Gitters
unter 45° Betrachtungswinkel. Es sind die steilen Seitenwände des Gitters zu
sehen. (c)REM-Aufnahmeeinesmit einemFIBangefertigtenQuerschnitts einer
fertigprozessiertWOLEDmit15nmund(d)35nmhohemTiO2-Bragg-Gitter.
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