Seite - 137 - in Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden

6.1 Herstellungsphärisch-texturierterOLEDs StoppenderDrehungPartikel entfernt, die sich inMehrfachlagen angeordnet haben. Die Aufhäufungen von Partikeln am Rand des Substrats bleiben al- lerdings erhalten und bilden von oben betrachtet einen konzentrischen Ring mit einem Durchmesser der etwa der Substratbreite entspricht. Die Fläche innerhalb dieses Rings entspricht der sich ausgebildeten Monolage. Diese Aufhäufungen sind nicht weiter störend, da die spätere OLED-Leuchtfläche deutlich imBereichderhomogenenMonolagebefindet (vgl. hierzuAbschnitt 3.2.1). Die so fertig prozessierten Monolagen wurden an den Spincoating- Prozess anschließend bei 120°C für mind. 2min getempert, um sämtliche Wasserrückständezuentfernen (Abb.6.1.1d). (a) (b) (c) (d) Abb.6.1.2:Beispielhafte REM-Aufnahmen von Monolagen aus SiO2-Mikropartikeln mit einemDurchmesservon (a)&(b)1,55μm, (c)0,585μmund(d)7μm. 137