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7 FlexibleOLEDs 7.1.1 HerstellungvonHybridanodenundflexiblenOLEDs InAbbildung 7.1.2 ist eineÜbersicht desHerstellungsprozesses derHybrid- Anodenzusehen.DaPETstarkhygroskopisch ist [255], eignet sicheinPET- Substrat alleine nicht zur späterenVerkapselung der OLEDund damit nicht alsOLED-Substrat.DeshalbwirdhäufigeineBarriereschichtgegenSauerstoff undWasser aufdasPET-Substrat gebracht, umdieOLEDvorDegradationzu schützen.DieseBarriereschicht ist typischerweise eine alternierendeAbfolge aus dünnenMetalloxid- undPolymer-Schichten [19]. In dieserArbeitwurde als OLED-Substrat eine 125μm dicke Barrierefolie verwendet (FTB3-125, bezogenvon3M),wobeidieeigentlicheBarriereschicht lediglich1,5μmdick war (sieheAbb.7.1.2a).DiegenaueZusammensetzungdieserBarriereschicht ist unbekannt. Da die Barrierefolie bereits vorgereinigt bezogenwurde, wurden die Sub- strate, anders wie in Abschnitt 3.2.1 beschrieben, jeweils lediglich 1min in Aceton, Isopropanol und einem Sauerstoffplasma gereinigt, um die Barrie- re nicht zu beschädigen. Nach der Reinigung der Barrierefolie wurden die Substrate mit einem Fotolack (ma-P 1215) beschichtet. Um Deformationen des flexiblen Substrats während des Aufschleuderns durch die Vakuuman- saugung oder dieRotation zu vermeiden,wurden die flexiblen Substratemit Dicing-TapeaufeinemGlassubstratfixiert,welcheswiederumaufdenChuck des Spincoaters gelegt wurde. Über einen typischen fotolithografischen Pro- zess,wie er inAbschnitt 3.3 beschriebenwurde, ist eineNetzstruktur in den Lack belichtet und entwickelt worden (Abb. 7.1.2b). Es wurden insgesamt 4 unterschiedliche Netzgeometrien untersucht. Die Nomenklatur der Netz- geometrien ist im Folgenden dabei SxA, wobei S der Stegbreite undA dem Abstand zwischen den Stegen entspricht. Beispielsweise wird unter einem S=5μmxA=100μm Netz eine Struktur mit 5μm Stegbreite und 100μm AbstandzwischendenStegenverstanden. InAbbildung7.1.3 sindMikrosko- paufnahmender4unterschiedlichenhier untersuchtenNetzgeometrien zu se- hen.Es ist zu erkennen, dass dieStegedefinierteKanten aufweisen,wodurch dieKurzschlussgefahr imspäterenBauteil reduziertwird. Es wurden weiterhin 3 unterschiedliche Metalle (Aluminium, Silber und 150