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7 FlexibleOLEDs
7.1.1 HerstellungvonHybridanodenundflexiblenOLEDs
InAbbildung 7.1.2 ist eineÜbersicht desHerstellungsprozesses derHybrid-
Anodenzusehen.DaPETstarkhygroskopisch ist [255], eignet sicheinPET-
Substrat alleine nicht zur späterenVerkapselung der OLEDund damit nicht
alsOLED-Substrat.DeshalbwirdhäufigeineBarriereschichtgegenSauerstoff
undWasser aufdasPET-Substrat gebracht, umdieOLEDvorDegradationzu
schützen.DieseBarriereschicht ist typischerweise eine alternierendeAbfolge
aus dünnenMetalloxid- undPolymer-Schichten [19]. In dieserArbeitwurde
als OLED-Substrat eine 125μm dicke Barrierefolie verwendet (FTB3-125,
bezogenvon3M),wobeidieeigentlicheBarriereschicht lediglich1,5μmdick
war (sieheAbb.7.1.2a).DiegenaueZusammensetzungdieserBarriereschicht
ist unbekannt.
Da die Barrierefolie bereits vorgereinigt bezogenwurde, wurden die Sub-
strate, anders wie in Abschnitt 3.2.1 beschrieben, jeweils lediglich 1min in
Aceton, Isopropanol und einem Sauerstoffplasma gereinigt, um die Barrie-
re nicht zu beschädigen. Nach der Reinigung der Barrierefolie wurden die
Substrate mit einem Fotolack (ma-P 1215) beschichtet. Um Deformationen
des flexiblen Substrats während des Aufschleuderns durch die Vakuuman-
saugung oder dieRotation zu vermeiden,wurden die flexiblen Substratemit
Dicing-TapeaufeinemGlassubstratfixiert,welcheswiederumaufdenChuck
des Spincoaters gelegt wurde. Über einen typischen fotolithografischen Pro-
zess,wie er inAbschnitt 3.3 beschriebenwurde, ist eineNetzstruktur in den
Lack belichtet und entwickelt worden (Abb. 7.1.2b). Es wurden insgesamt
4 unterschiedliche Netzgeometrien untersucht. Die Nomenklatur der Netz-
geometrien ist im Folgenden dabei SxA, wobei S der Stegbreite undA dem
Abstand zwischen den Stegen entspricht. Beispielsweise wird unter einem
S=5μmxA=100μm Netz eine Struktur mit 5μm Stegbreite und 100μm
AbstandzwischendenStegenverstanden. InAbbildung7.1.3 sindMikrosko-
paufnahmender4unterschiedlichenhier untersuchtenNetzgeometrien zu se-
hen.Es ist zu erkennen, dass dieStegedefinierteKanten aufweisen,wodurch
dieKurzschlussgefahr imspäterenBauteil reduziertwird.
Es wurden weiterhin 3 unterschiedliche Metalle (Aluminium, Silber und
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Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
- Titel
- Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
- Autor
- Tobias Bocksrocker
- Verlag
- KIT Scientific Publishing
- Ort
- Karlsruhe
- Datum
- 2013
- Sprache
- deutsch
- Lizenz
- CC BY-NC-ND 3.0
- ISBN
- 978-3-7315-0048-3
- Abmessungen
- 21.0 x 29.7 cm
- Seiten
- 246
- Schlagwörter
- Organische Leuchtdioden, OLEDs, Lichtauskopplung
- Kategorien
- Abschlussarbeiten
- Technik