Seite - 213 - in Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden

A.1 Prozessparameter A.1.3 SphärischeTexturierung Substratreinigung AcetonundUltraschall 10min IsopropanolundUltraschall 10min Sauerstoffplasma 2min Monolage 0,585μmPartikel: 50μl 200min-1 60s 2000min-1 0s 1,55μmPartikel: 75μl 100min-1 120s 2000min-1 0s 7μmPartikel: 300μl 100min-1 150s 2000min-1 5s Ausheizen 120°C 120s Belacken SU-8 für1,55μmPartikel: SU-8 2000.5 300min-1 5s 3000min-1 30s Belichten Flächig imFolienbelichter 80s Ausheizen 65°C 1min 95°C 1min Entwickeln mr-Dev600 1min StoppenmitH2O 10s A.1.4 Streuschichten VerhältnisTiO2:PMMA MittlereBrechungsindex 3:5 1,68 1:1 1,75 5:3 1,93 213