Seite - 35 - in Chromatisch konfokale Triangulation - Hochgeschwindigkeits 3D-Sensorik auf Basis der Wellenlängenschätzung mit optimierten Filtern

4.1 ModellierungderSensoroptik xBel yBel zBel x y z xAbb yAbb zAbb αNA θ Abbildung4.4:PrinzipskizzeeineskonfokalenTheta-Mikroskops,beidemcharakte- ristischerWeisedieStrahlengängederBeleuchtungundderAbbildunggegeneinander verkippt sind.DieorangeeingefärbtenFlächendeutenan,dass indiesemFalldie resultierendevertikaleAuflösunggesteigertwerdenkann, indemsichdasBeobach- tungsvolumenverkleinert. 4.1.2 KonfokalesTheta-Mikroskop BeimCCT-SensorwerdenzweiseparateOptikenfürBeleuchtungundAbbil- dungeingesetzt,wobeisieumeinenWinkel2θzueinanderverkipptsind.Eine Optik,wiesie inAbbildung4.4dargestellt ist,wirdinderLiteraturalskonfo- kalesTheta-Mikroskop[Ste94]bezeichnetoderauchalsdual-axesconfocal microscopy [Wan13].GegenüberderkonventionellenkonfokalenMikrosko- pieergibtsicheinVorteil fürdie3D-Messung[Lin96]:Durchdengekreuzten AufbauverringertsichdasBeobachtungsvolumen,wobeiausgenutztwird, dassdielateraleoptischeAuflösunghöheristalsdieaxialeAuflösungeines konfokalenMikroskops.DieserSachverhalt ist inAbbildung4.4durcheine 35 dunklereorangeneEinfärbungimFokuspunkthervorgehobenundgilt im Besonderen fürkleinenumerischeAperturen [She95].