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4.1 ModellierungderSensoroptik l h(λmin) h(λmax) θ λmin λmax αNA dB γdiff,min γdiff,max Abbildung4.7:PrinzipiellerStrahlengangeinesCCT-SensormitTransmissionsgitter. HalberÖffnungswinkelαNAundVerkippungθsindfürdienullteBeugungsordnung gezeichnet. zubewertenmussbeachtetwerden,dassdiegeometrischenBeziehungen (4.16)einerPrinzipskizzeentnommenwerden.DiehergeleitetenErgebnis- sewerden imAnschlussder folgendenBetrachtungmit einernumerisch simuliertenCCT-Optik verglichen (vgl. Abbildung4.9). UmeinenZusammenhangzwischenObjekthöheundfokussierterWellen- längeλFherzustellen,mussnebendengeometrischenBeziehungenauch die Gittergleichung [Loe97] sin(γdiff)=sin(γein)+mG λF dG (4.17) 41 Wie inAbbildung4.7dargestellt,werdenausGründenderEinfachheitdie WertedernulltenBeugungsordnungübernommen.UmdieseVereinfachung