Seite - 107 - in Chromatisch konfokale Triangulation - Hochgeschwindigkeits 3D-Sensorik auf Basis der Wellenlängenschätzung mit optimierten Filtern

7.2 Optimierungvon Interferenzfiltern Modellparameter numerischeGröße Kamera-undRauschmodell Polarisationφ unpolarisiert 50%s-, 50%p-Polarisation Quanteneffizienz nichtberücksichtigtq(λ)=1 Lichtspektrum nichtberücksichtigt l(λ,φ)=1 MinimaleOberflächenreflektanz rmin=70% Dunkelrauschen σd= 0,2bei8-bitQuantisierung (vgl.Abbildung4.10) Systemverstärkung k=0,5/255bei8-bitQuantisierung (vgl.Abbildung4.10) Optikmodell HalberÖffnungswinkel αNA=14,5◦ entsprichtNA=0,25 SpektralerMessbereich λ∈[425nm,700nm] VertikalerMessbereich h∈[0mm,2mm] HalbwertsbreiteSignal FWHM=2,5nm Interferenzfilter AnzahlSchichtenproFilter 5, 10, 20, 30, 40 MinimaleSchichtdicke 10nm MaximaleSchichtdicke 900nm Schichtmaterialien SiO2 (niedrigbrechend), Ta2O5 (hochbrechend) Substratmaterial synthetischesQuarzglas Optimierungsparameter AnzahlFilter 3, 4, 5, 6, 10 DiskretisierungdesMessbereichs λ=0,1nm StützstellenMonte-Carlo-Integration ca. 30.000.000Latin-Hypercube- Stichprobenverfahren[Ima08] Schätzfunktion ML-Schätzer Tabelle7.3:AuflistungderSimulationsparameter inAnlehnungandieCCT-Optik in Abbildung7.14. 107