Page - 70 - in Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden

3 MethodenundMaterialien der titanhaltigeHaftvermittlerTIPrime (MicroChemicalsGmbH)verwendet, welchermittelsSpincoatingaufgetragenwurde.BeideHaftvermittlerbasieren darauf,dieSubstratoberflächehydrophobwerdenzulassen,weshalbdiemeist unpolarenFotolackedannbessereHaftungseigenschaftenaufweisen. ma-P12xx Bei den Fotolacken aus der Reihe „ma-P 12xx” handelt es sich um positive Fotolacke der Firma „micro resist technologyGmbH”.Diese Lacke wurden mit unterschiedlichen Feststoffkonzentrationen verwendet, welche durch „xx” angegebenwerden (siehe [201]).Die amhäufigsten verwendeten Formulierungenwaren indieserArbeitma-P1205undma-P1215.Diema-P FotolackezeichnensichdurchihrerelativeinfacheVerarbeitungundihrehohe Beständigkeit bei Ätzprozessen aus. Außerdem eignen sich diese Lacke für Lift-Off Prozesse, da sie sich sehr leichtmit vielenLösemittelnwieAceton, Isopropanol,Ethanol, etc. lösen lassen. AR-P31xx Bei der Fotolackreihe „AR-P 3100” der Firma „Allresist GmbH” handelt es sich ebenfalls um einen positiven Fotolack. Auch hier unterscheiden sich die Formulierungen durch den Feststoffanteil (siehe [202]). In dieser Arbeit wurde dabei hauptsächlich die Formulierung AR-P 3120 und AR-P 3170 verwendet. Diese Lacke zeichnen sich durch ihren sehr hohenKontrast und damit einhergehenddemsehrhohenAuflösungsvermögenaus.DieLackeder AR-PReihe lassen sich in sehr dünnenSchichten (<500nm) applizieren und mit polaren Lösemitteln wie Aceton entfernen. Die AR-PReihe eignet sich daherauch fürdieHerstellungvonNanostrukturen. SU-8 Der Fotolack SU-8 (vonMicroChemCorp.) ist wohl einer der weit verbrei- tetstenFotolacke.Eshandelt sichdabeiumeinennegativenFotolack,der sich vorallemdurchseinhohesAuflösungsvermögen,seinechemische, thermische 70