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4.1 HerstellungundCharakterisierungvonMLAs 4.1 HerstellungundCharakterisierungvonMLAs Im Folgendenwird der in dieser Arbeit entwickelte Herstellungsprozess für MLAs beschrieben. Es handelt sich dabei um einen Stempelprozess, der ei- ne schnelle, zuverlässige und hochskalierbareMöglichkeit zur Prozessierung großflächigerMikrolinsenarrays bietet.Dabeiwird zunächst auf die Prozess- kettezurStempelherstellungeingegangen.DashierentwickelteVerfahrenbie- tet dieMöglichkeit Stempel für beinahe jedeLinsengeometrie (Durchmesser, Aspektverhältnis, Packungsdichte, etc.) herzustellen.Einmal angefertigt kön- nendieStempelnahezubeliebigoftverwendetwerden. 4.1.1 Herstellungsprozess InAbbildung4.1.1 ist eineschematischeÜbersichtdesHerstellungsprozesses der indieserArbeit entwickeltenMikrolinsenarrayszusehen. Zunächstwurde eineSilizium-Wafer gereinigt undmit einer SU-8Schicht beschichtet (vgl.Abschnitt 3.1.2 und3.3.3). Je nach späteremAspektverhält- nis derMikrolinsenwurde die Schichtdicke variiert.Wie inAbb. 4.1.1a dar- gestellt,wurdederbeschichteteWafermittelsFotolithografie(vgl.Kontaktbe- lichtungAbschnitt 3.3) belichtet.Nach derEntwicklungdesFotolacks resul- tierenLacksäulenaufdemWafer (Abb.4.1.1b).DerDurchmesserdieserSäu- lenhat einenwesentlichenEinfluss aufdie spätereLinsengröße.DerAbstand derSäulenbeeinflusstmaßgeblichdiePackungsdichtedesspäterenMLA.Die Lacksäulenwurden inPolydimethylsiloxan1 (PDMS)gegossen (Abb.4.1.1c). PDMSeignet sichwegenseinerchemischenStabilitätundmechanischenFle- xibilität besonders. Nach dem Aushärten dieses Silikons, kann das PDMS abgezogenwerden (Abb. 4.1.1d). Der so entstandene PDMS-Stempelwurde nundafürverwendet, dieSäulenstruktur inPolymethylmethacrylat2 (PMMA) zu übertragen. PMMAwurde in Anisol gelöst und auf ein Glassubstrat ge- bracht (Abb. 4.1.1e). Der Stempelwurde nun gleichmäßig über die gesamte 1PDMS ist ein Zwei-Kompontenten-Silikon. Das imRahmen dieser Arbeit verwendete PDMSwurde von Sylgard bezogen (Sylgard 184). Eswurdemit dem zugehörigen „CuringAgent” imVerhältnis von 10:1 angesetzt. 2AuchalsPlexiglasbekannt 81