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5.2 TiO2-Bragg-Gitter Mikrolinsenarray(vgl.Abschnitt4.1.1)gestempelt. IndiesemKapitelwurden ausschließlich Mikrolinsen mit einem Durchmesser von 30μm verwendet (D30-Array). InAbbildung5.2.5aund5.2.5bsindbeispielhafteRasterelektronenmikroskop- AufnahmenvonTiO2-Bragg-Gitter auf ITOzusehen.Abbildung5.2.5c zeigt eineREM-Aufnahmeeinesmit einemfokussierten Ionenstrahl (engl. focused ion beam, FIB) hergestellten Querschnitts einerWOLEDmit 15nm hohem TiO2-Gitter, Abb. 5.2.5d die einerWOLEDmit 35nm hohemGitter. Es ist zuerkennen,dass sichdieKorrugationderGitterstrukturdurchalleSchichten des Bauteils „drückt”. Der planarisierende Effekt der Flüssigprozessierung desWOLED-Stacks ist bei einergeringerenGitterhöhestärker ausgeprägt. 5.2.4 Effizienzbetrachtung Im Folgenden wird zunächst die Effizienz der WOLEDs mit Gitterstruktur -aber ohne Mikrolinsenarray- betrachtet. Die Periode der Bragg-Gitter wurde mit Hilfe der Bragg-Bedingung (Formel 5.2.3) so berechnet, dass der Auskoppelwinkel θ für gebundene Moden im gesamten sichtbaren Spektralbereich bei Beugung erster Ordnung unterhalb des Winkels zur Totalreflexion amGlas/Luft-Übergang bleibt. Es ergab sich so eine Periode von Λ= 330nm, welche bei den folgenden Untersuchungen nicht variiert wurde. Es wurden Gitterhöhen von 15nm und 35nm untersucht. Wie bei den in Abschnitt 5.1.3 betrachtetenWOLEDs, wurden die Gitter-OLEDs in ihrerEffizienznurmitReferenz-WOLEDsverglichen,welcheimselbenBatch hergestelltwurden.Umdie imFolgendengezeigtenErgebnissezuverifizieren wurdejedeBauteil-KonfigurationinzweivoneinanderunabhängigenBatches prozessiert7. Die gezeigten Messkurven sind keine Mittelung, sondern repräsentativeMessreihenfürdieentsprechendenBauteilkonfigurationen.Die angegebenenAbweichungen beziehen sichwiederumauf dieAbweichungen zwischendenuntersuchtenBauteilen. 7ProBatchwurden jeweils 3 Referenzsubstrate, 3 Substratemit 15nmhohemTiO2-Gitter und 3 Substrate mit 35nm hohem TiO2-Gitter prozessiert. Jedes Substrat besitzt wie in Abschnitt 3.2.1 beschrieben 4 Leuchtflächen, also4 individuell untersuchteOLEDs. 119