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6 KombinierteAuskopplung Abbildung 6.1.2a und 6.1.2b zeigen beispielhafte Rastermikroskop- AufnahmenvonMonolagenderverwendetenPartikelmiteinemDurchmesser von 1,55μm. Es ist zu erkennen, dass der hier entwickelte Prozess die Her- stellungsehrhomogenerMonolagenaufgroßenFlächenmitnursehrwenigen Defektstellen ermöglicht. In Abb. 6.1.2c ist eineMonolage der Partikel mit 0,585μmund inAbb. 6.1.2dmit 7μmDurchmesser gezeigt. Diese Partikel- größenhabensichallerdingsalsnichtgeeignet fürdiesphärischeTexturierung derWOLEDs gezeigt. Die 0,585μmPartikel lösten sich bei den Flüssigpro- zessen der folgenden Schichten ab, was auf sehr geringe Adhäsionskräfte zwischen den Partikeln und dem Substrat zurückzuführen ist. Bei Partikel mit 7μm Durchmesser konnte bei den zur OLED-Herstellung notwendigen Vakuumprozessen oder beimVerkapselungsprozess ein „abplatzen” derMo- nolage beobachtet werden. Aus diesem Grund werden bei den folgenden Untersuchungen ausschließlichPartikelmit einemDurchmesser von1,55μm betrachtet. 6.1.2 Schichtabscheidungaufsphärisch-texturiertenSubstraten Auf die imvorangegangenenAbschnitt beschriebenenMonolagen aus SiO2- Mikropartikeln wurde zunächst eine etwa 170nm dicke Indiumzinnoxid- Schicht gesputtert.Wie sich gezeigt hat, kann auf diemit ITObeschichteten Mikropartikel nicht ohne weiteres eineWOLED prozessiert werden. Grund hierfür ist,dass insbesonderedieaufgesputterteITO-Anodekeinedurchgängi- geSchichtbildet. InAbbildung6.1.3a ist dieREM-Aufnahmeeinesmit einer FIB-Anlage angefertigtenQuerschnitts einer auf derMonolage prozessierten WOLEDzusehen.Esistzuerkennen,dassdieSchichtenzwischendeneinzel- nenPartikelnunterbrochensind.Die lateraleLeitfähigkeit, diezumBetreiben einerOLEDnötig ist, ist daheraufdenMikrosphärennichtgegeben. Aus diesem Grund wurden die Hohlräume zwischen den einzelnen Partikeln gefüllt, so dass die darauf prozessierten Schichten durchgängig sind. Als Füllmaterial wurde das fotovernetzbare Epoxidharz SU-8 (siehe Abschnitt 3.3.3) verwendet. Dieser Fotolack wurde auf die Monolage mittels Spincoating aufgebracht, daraufhin flächig belichtet und schließlich 138