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6 KombinierteAuskopplung
Abbildung 6.1.2a und 6.1.2b zeigen beispielhafte Rastermikroskop-
AufnahmenvonMonolagenderverwendetenPartikelmiteinemDurchmesser
von 1,55μm. Es ist zu erkennen, dass der hier entwickelte Prozess die Her-
stellungsehrhomogenerMonolagenaufgroßenFlächenmitnursehrwenigen
Defektstellen ermöglicht. In Abb. 6.1.2c ist eineMonolage der Partikel mit
0,585μmund inAbb. 6.1.2dmit 7μmDurchmesser gezeigt. Diese Partikel-
größenhabensichallerdingsalsnichtgeeignet fürdiesphärischeTexturierung
derWOLEDs gezeigt. Die 0,585μmPartikel lösten sich bei den Flüssigpro-
zessen der folgenden Schichten ab, was auf sehr geringe Adhäsionskräfte
zwischen den Partikeln und dem Substrat zurückzuführen ist. Bei Partikel
mit 7μm Durchmesser konnte bei den zur OLED-Herstellung notwendigen
Vakuumprozessen oder beimVerkapselungsprozess ein „abplatzen” derMo-
nolage beobachtet werden. Aus diesem Grund werden bei den folgenden
Untersuchungen ausschließlichPartikelmit einemDurchmesser von1,55μm
betrachtet.
6.1.2 Schichtabscheidungaufsphärisch-texturiertenSubstraten
Auf die imvorangegangenenAbschnitt beschriebenenMonolagen aus SiO2-
Mikropartikeln wurde zunächst eine etwa 170nm dicke Indiumzinnoxid-
Schicht gesputtert.Wie sich gezeigt hat, kann auf diemit ITObeschichteten
Mikropartikel nicht ohne weiteres eineWOLED prozessiert werden. Grund
hierfür ist,dass insbesonderedieaufgesputterteITO-Anodekeinedurchgängi-
geSchichtbildet. InAbbildung6.1.3a ist dieREM-Aufnahmeeinesmit einer
FIB-Anlage angefertigtenQuerschnitts einer auf derMonolage prozessierten
WOLEDzusehen.Esistzuerkennen,dassdieSchichtenzwischendeneinzel-
nenPartikelnunterbrochensind.Die lateraleLeitfähigkeit, diezumBetreiben
einerOLEDnötig ist, ist daheraufdenMikrosphärennichtgegeben.
Aus diesem Grund wurden die Hohlräume zwischen den einzelnen
Partikeln gefüllt, so dass die darauf prozessierten Schichten durchgängig
sind. Als Füllmaterial wurde das fotovernetzbare Epoxidharz SU-8 (siehe
Abschnitt 3.3.3) verwendet. Dieser Fotolack wurde auf die Monolage
mittels Spincoating aufgebracht, daraufhin flächig belichtet und schließlich
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Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
- Titel
- Technologien für das Lichtmanagement in organischen Leuchtdioden
- Autor
- Tobias Bocksrocker
- Verlag
- KIT Scientific Publishing
- Ort
- Karlsruhe
- Datum
- 2013
- Sprache
- deutsch
- Lizenz
- CC BY-NC-ND 3.0
- ISBN
- 978-3-7315-0048-3
- Abmessungen
- 21.0 x 29.7 cm
- Seiten
- 246
- Schlagwörter
- Organische Leuchtdioden, OLEDs, Lichtauskopplung
- Kategorien
- Abschlussarbeiten
- Technik