Page - III - in Chromatisch konfokale Triangulation - Hochgeschwindigkeits 3D-Sensorik auf Basis der Wellenlängenschätzung mit optimierten Filtern

Inhaltsverzeichnis 1 Zusammenfassung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 2 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 2.1 Motivation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 2.2 Ziele . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 2.3 Beiträge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 2.4 Gliederung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10 3 StandderForschung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 3.1 Konfokale3D-Messtechnik . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 3.1.1 Konfokale3D-Hochgeschwindigkeitsmessung . . . . . . . 12 3.1.2 ChromatischkonfokalesMessprinzip . . . . . . . . . . . . 13 3.1.3 KonfokalesTheta-Mikroskop . . . . . . . . . . . . . . . . . 14 3.2 MessverfahrenmitproblemspezifischenFiltern . . . . . . . . . . 15 3.2.1 SpektraleIdentifikationsaufgabe . . . . . . . . . . . . . . . 16 3.2.2 SpektralkodierteMesssignale . . . . . . . . . . . . . . . . . 17 3.3 OptimierungvonInterferenzfiltern . . . . . . . . . . . . . . . . . 20 3.4 OptimaleAuslegungvonSensoren . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 4 ModellierungchromatischerSensoren . . . . . . . . . . . . . . . . 27 4.1 ModellierungderSensoroptik . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28 4.1.1 DaskonfokaleMikroskop . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28 4.1.2 KonfokalesTheta-Mikroskop . . . . . . . . . . . . . . . . . 35 4.1.3 ChromatischkonfokalerTriangulationssensor . . . . . . . 40 iii