Page - 13 - in Chromatisch konfokale Triangulation - Hochgeschwindigkeits 3D-Sensorik auf Basis der Wellenlängenschätzung mit optimierten Filtern

3.1 Konfokale3D-Messtechnik wirdbeimAnsatzderNipkow-ScheibeGebrauchgemacht, indemmehrere Punktblendenspiralförmigangeordnetsind[Tan02].EineUmsetzungmitbe- sonderertechnischerRelevanzbildetdieGruppederchromatischkonfokalen Sensoren.DiesefokussierenunterschiedlicheWellenlängenaufunterschied- licheAbstände[Mol84,Dob97,Rup04a,Shi06,Gar08,Chu09].DasSpektrum desreflektiertenLichtszeigteincharakteristischesMaximumfürdieWellen- länge,diegeradeaufderObjektoberflächefokussiert ist.DieNotwendigkeit einer axialen Scanbewegung entfällt hierbei. Stattdessenwirdmit einem SpektrometerdiefokussierteWellenlängeermittelt.NebeneineraxialenAuf- spaltungkanndaschromatischePrinzipauchfüreinelateraleAufspaltung genutztwerden.IndiesemFallwerdenlateralbenachbarteMesspunktedurch unterschiedlicheWellenlängenrealisiert [Gro11,Pit03].Möglichistaucheine Kombinationaus lateralerundaxialerAufspaltungdesLichts [Hil13]. DerdritteprinzipielleAnsatzzurkonstruktivenSteigerungderMessgeschwin- digkeitersetztdiePunktlichtquelleeineskonfokalenMikroskopsdurchei- ne zeilenartigeBeleuchtung.Gleichzeitigwirdder Punktdetektor auf der AbbildungsseitealsZeilenkameraausgeführt, indemmehrerePunktdetek- toren nebeneinander angeordnet werden. Streng genommen handelt es sichaufGrundderSpaltblendenichtmehrumeinkonfokalesMessystem. Z.B. reduziert sich die laterale Auflösung parallel zur Zeilenbeleuchtung aufdieeineskonventionellenHellfeldmikroskops[Wil90a].DieMöglichkeit zur 3D-Messungbleibt jedoch erhaltenund somit können in einer Zeile parallelMessungendurchgeführtwerden [Wol06,Wan13]. Das chromati- sche Prinzip kann mit der linienhaften Beleuchtung kombiniert werden [Lin98, Kör04b, Kör04, CS03, Tap12b]. NebendiesenkonstruktivenAnsätzenkanndieMesszeitauchdurchHochge- schwindigkeitskameras[Rup08]undintensiveLichtquellenverkürztwerden [Shi04]. 3.1.2 ChromatischkonfokalesMessprinzip DerCCT-Sensor istderGruppederchromatischkonfokalenSensorenzu- zuordnen,weswegenderStandderForschungdieserSensorengesondert betrachtetwird.ChromatischkonfokaleSensorenfokussierenunterschied- licheWellenlängeninunterschiedlichenAbständenzumObjektiv.DasSpek- trumdesreflektiertenLichtszeigteincharakteristischesMaximumfürdie 13