Page - 93 - in Chromatisch konfokale Triangulation - Hochgeschwindigkeits 3D-Sensorik auf Basis der Wellenlängenschätzung mit optimierten Filtern

7.1 ExperimentemitunterschiedlichenFiltersätzen Spaltblende/KamerakonkavesGitter λmax=900nm λmin=200nm θ 21,4mm Umlenkspiegel α vollständigerStrahlengang Abbildung7.2:StrahlengangdesCCT-SensorswieerfürexperimentelleUntersuchun- genaufgebautwurde.WesentlichesoptischesElementisteinreflektierendeskonkaves Gitter(Typ535,Zeiss™).FüreineWellenlängevonλmin=200nmbeträgtderWinkel θ=61◦undderhalbeÖffnungswinkelα=5,9◦entsprichteinernumerischenApertur vonNA=0.1.EinevollständigeCCT-Optikbestehtauszweispiegelsymmetrischen Teiloptiken(untenlinksdargestellt) [Tap12b,Tap11]. 7.1.1 CCT-SensormitSpektrometer DieserVersuchsaufbauentsprichteinemklassischenchromatischkonfoka- len 3D-Sensor,wie er amMarkt erhältlich ist. Einzig dieRealisierung als konfokalesTheta-Mikroskop,miteinerseparatenundverkipptenOptikfür Beleuchtungs-undAbbildungsstrahlengang,weichtvonvergleichbarenhan- delsüblichenSensorenab.DieExperimentewurdenmiteinemfasergekoppel- tenSpektrometermiteinerspektralenHalbwertsbreitevonFWHM<2nm durchgeführt (TypHR2000+,OceanOptics™). ImFolgendenwirdderEinflussdesKamerarauschensunteransonstenkon- stantenMessbedingungenuntersucht.DiesesExperimentkommtderSen- sormodellierungausKapitel4amnächsten,welchesvariierendeBeobach- tungeneinzig auf dasKamerarauschen zurückführt. AlsMessobjektwird 93