Page - 98 - in Chromatisch konfokale Triangulation - Hochgeschwindigkeits 3D-Sensorik auf Basis der Wellenlängenschätzung mit optimierten Filtern

7 Ergebnisse Abbildung7.7:RGB-Rohdatenderin7.6dargestellten3D-Messung. 7.1.3 CCT-SensormitoptimiertenInterferenzfiltern FürdiesesExperimentwurdeeinemultispektraleKameramitsechsInterfe- renzfilternoptimiertundgefertigt.DiemultispektraleKamerabestehtaus einerZeilenkamerainKombinationmiteinemFilterträger,dereinensequen- tiellenWechseldereinzelnenFilterermöglicht(dargestelltalsBild7.8).Die Anzahl vonsechsFilternwurdedabeiausFertigungsgründengewählt, da beiderProduktionderSchichtsystemeAbweichungenvondenvorgegebe- nenSchichtdicken inKauf genommenwerdenmüssen.Untersuchungen imVorfeldhabenergeben,dassdieEindeutigkeitsproblematik imFallvon weniger als sechs FilternproFiltersatz dasOptimierungsergebnis signifi- kantbeeinflusst.HingegenspieltdiesesTeilproblemderOptimierungbei einemFiltersatzmitsechsEinzelfilterneineuntergeordneteRolle[Tap13c]. Dasbedeutetauch,dassAbweichungendurchdenFertigungsprozessbes- ser toleriertwerdenkönnen.DasTeilproblemderEindeutigkeit ist dabei besondersproblematisch,weilbeiNichtbeachtenmitunterhoheMessunsi- cherheitendieFolgesind.DerEinflussderFilteranzahlproFiltersatzwird inAbschnitt 7.2.1 noch genauer betrachtet. BeiderProduktioneinerSchichtdickekommteszuAbweichungen,die ty- pischerweisealsnormalverteiltangenommenwerden.DieStandardabwei- chungdesgewähltenFertigungsprozessesbeträgtungefähr0.5nmproDünn- schicht,wobeidieSchichtdickenzwischen15nm−400nmliegen[Tap13c]. OptimiertwurdeeinSchichtsystemmit41DünnschichtenundderRand- bedingung,dassdieGesamtdicke7μmnichtüberschreitendarf [Tap13b]. AlshochbrechendesSchichtmaterialkamTantalpentoxidTa2O5zumEinsatz. 98