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7.2 Optimierungvon Interferenzfiltern 5 10 15 20 25 30 35 40 0 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0.35 AnzahlSchichtenproInterferenzfilter maximal,4Filter mittlere,4Filter minimal,4Filter maximal,5Filter mittlere,5Filter minimal,5Filter Abbildung7.20:MessunsicherheitderWellenlängenschätzungfürOptimierungen mitunterschiedlicherAnzahlanSchichtenproInterferenzfilter. schaftenbesitzt.DerWechselvonvierauf fünfFilterhathauptsächlicheinen EinflussaufdiemaximaleMessunsicherheit imMessbereich.Diekleinste MessunsicherheitbezüglichderWellenlängenschätzungbeträgt0.02nm. WirddiesesErgebnisaufdieHöhenschätzungübertragen,ergibtsicheine Messunsicherheit von0,15μmbei2mmMessbereich. 117 InAbbildung7.20sindzehnOptimierungsergebnissedargestellt.Für jeweils einenFiltersatzmitvierbzw.fünfFilternwurdedieAnzahlanSchichtenpro Filter infünfSchrittenvariiert.Dabeizeigtsich,dassdieMessunsicherheit ab20SchichtenproFiltersichnichtweiterreduziert.BeiderInterpretation dieserErgebnissemussjedochbeachtetwerden,dassderStartwert jeweils zufälliggewähltwurdeunddasErgebnis lediglichlokaleOptimalitätseigen-