Page - 120 - in Chromatisch konfokale Triangulation - Hochgeschwindigkeits 3D-Sensorik auf Basis der Wellenlängenschätzung mit optimierten Filtern

7 Ergebnisse Betrachtung minimal mittlere maximal Referenz ExperimentellermittelteMessunsicherheiten Spektrometer 0,003nm - - Abb. 7.3 RGB-Kamera 0,14nm 0,93nm 2.9nm Tab. 7.1 CCT-Sensorexpe- rimentell 0,02nm - - Tab. 7.2 CCT-Sensor theo- retisch 0,015nm 0,05nm 0,13nm Tab. 7.2 SimulationsergebnisseausAbschnitt7.2 4Filter, 20 Schichten 0,025nm 0,054nm 0,08nm Abb. 7.17 VariationderFilteranzahl 4Filter, 20 Schichten 0,021nm 0,06nm 0,13nm Abb. 7.19 5Filter, 20 Schichten 0,022nm 0,046nm 0,063nm Abb. 7.19 6Filter, 20 Schichten 0,019nm 0,037nm 0,047nm Abb. 7.19 10Filter, 20 Schichten 0,015nm 0,029nm 0,038nm Abb. 7.19 VariationderSchichtanzahlproFilter 4(5)Filter, 5 Schichten 0,05nm (0,063nm) 0,18nm (0,14nm) 0,32nm (0,18nm) Abb. 7.20 4(5)Filter, 10 Schichten 0,028nm (0,03nm) 0,097nm (0,08nm) 0,18nm (0,11nm) Abb. 7.20 4(5)Filter, 20 Schichten 0.024nm (0,024nm) 0,053nm (0,045nm) 0,08nm (0,062nm) Abb. 7.20 4(5)Filter, 30 Schichten 0,022nm (0,021nm) 0,05nm (0,042nm) 0,08nm (0,06nm) Abb. 7.20 4(5)Filter, 40 Schichten 0,024nm (0,021nm) 0,057nm (0,045nm) 0,09nm (0,063nm) Abb. 7.20 Tabelle7.5:AuflistungderMessunsicherheitenfürverschiedenenAnsätzezur Wellenlängenschätzung.NurdieminimalenMessunsicherheitenimMessbereich sindangegeben. 120