Page - 11 - in Chromatisch konfokale Triangulation - Hochgeschwindigkeits 3D-Sensorik auf Basis der Wellenlängenschätzung mit optimierten Filtern

3 StandderForschung 3.1 Konfokale3D-Messtechnik DaskonfokaleAbbildungsprinzip geht zurück auf einPatent vonMarvin Minsky[Min57].FüreinoptischesSystem,bestehendausBeleuchtungs-und Abbildungsoptik,werdenalswesentlicheIdeezweiPunktblendeneingeführt. Zusätzlichisterforderlich,dasssichdiesorealisiertePunktlichtquelleund derPunktdetektor imObjektraumeinengemeinsamenBrennpunktteilen. Dieses konfokale optischeGesamtsystemermöglichtnurpunktuelleMes sun - gen, weist aber gegenüber einemoptischenSystemohne zweifache PunktblendeeineverbesserteAbbildungsleistungauf.Zumeinenkanndas Licht lateralkompakter fokussiertwerden,sodasskleinereObjektstrukturen abgebildetwerdenkönnen [Wil90a]. Zumanderen führt eineDefokussie- rungzueinemschnellenIntensitätsabfall.DieseEigenschaftermöglichteine optische3D-Messung,wobeiderAbstandzwischenObjektoberflächeund OptikmitmaximalerIntensitätermitteltwird[Lea11].Dabeiprofitiertdas3D- MessprinzipbesondersvonhohennumerischenAperturen,weswegentypi- scherweisemikroskopartigeRealisierungenvorzufindensind[Wil84,Bey12]. 11