Page - 39 - in Chromatisch konfokale Triangulation - Hochgeschwindigkeits 3D-Sensorik auf Basis der Wellenlängenschätzung mit optimierten Filtern

4.1 ModellierungderSensoroptik 20 30 40 50 60 70 0 0 2 4 6 8 10 10 12 lateral,senkrechtzurSpaltblende lateral,parallelzurSpaltblende axial θ/Grad Abbildung4.6:AuswirkungeinerVerkippungaufdieHalbwertsbreitedesIntensitäts- signals,ausgewertet fürNA=0,25undλ=500nm. ZurVeranschaulichungdiesesErgebnisseswirdderEffekteinerVerkippungθ aufdas vertikaleAuflösungsvermögenhinuntersucht. AlsKennzahlwird dazu wieder dieHalbwertsbreite FWHMaxial(θ)=2 √√√√√− ln (1 2 ) ( sin(θ)2 2σ2x + cos(θ)2 2σ2z ) betrachtet,welcheauchalsApproximationdesRayleigh-Kriteriums inter- pretiert werden kann [Mul02]. Abbildung4.6zeigt,wiedieHalbwertsbreitefürdasaxialeIntensitätssignal zuBeginndeutlich abfällt (blauerGraph). Ab 45Grad ist derGewinnan axialer Auflösungdurch eineweitere Verkippung gering, allerdingsmuss einedeutlicheVerschlechterungder lateralenAuflösungsenkrecht zurLi- 39